微观装置的制造及其处理技术
  • 物理量检测传感器的制造方法、物理量检测传感器与流程
    本发明涉及物理量检测传感器的制造方法和物理量检测传感器。在专利文献1中公开有如下内容,即,使玻璃的覆盖层与机械硅层结合,由玻璃的覆盖层实现有源器件的气密密封。具体而言,硅的机械层中的传感器器件以三明治状夹在第1玻璃层和第2玻璃层之间,构成晶片。并且,在专利文献1中,公开有将晶片进行切片,分...
  • 一种带有空腔的器件封装结构和方法与流程
    本发明涉及半导体封装领域,特别是一种带有空腔的器件封装结构和方法。对于众多mems,例如加速度计,rf开关,陀螺仪,以及多种传感器,例如滤波器,cmos图像传感器,都需要形成一个保护空腔,用来保护器件,并为器件提供真空或气密工作环境。随着技术的发展,芯片的尺寸越来越小,而对于很多器件,比如...
  • 一种Ti纳米管、其制备方法和用途与流程
    本发明属于微纳加工,具体涉及一种ti纳米管、其制备方法和用途。纳米技术兴起于20世纪80年代末,具有极大的理论和应用价值,纳米材料被称为“21世纪最有前途的材料”,纳米材料通常是指在三维空间中至少有一维的尺度处于纳米尺度范围或由它们作为基本单元构成具有不同于常规材料理化性质的材料。...
  • 触觉接口、用于触觉接口的图案化的层结构及其产生方法与流程
    本公开涉及一种用于产生用于触觉接口的图案化的层结构的方法。本发明还涉及用于触觉接口的图案化的层结构、以及触觉接口。用于触摸显示接口(诸如消费电子产品)的触觉应用具有增长的趋势。通过递送机械力、压力或者振动向用户传达信息,触觉反馈在用户接口设备中重现触觉。特别地,触觉致动器是触觉系统的主要部...
  • 微机电系统装置的制作方法
    本揭露实施例涉及微机电系统装置。微机电系统(mems)装置已越来越广泛地用于诸多现代电子产品中,例如加速计、压力传感器、喷墨打印机及麦克风。一种常见类型的微机电系统装置包含:微机电电容器,其具有用作电容器板的可移动部件(有时被称为检测质量块);及固定部件,其用作另一电容器板。可移动部件的移...
  • 一种用于异丙醇室温快速检测的高灵敏纳米硅基气体传感元件及其制备方法与流程
    本发明属于传感器,更加具体地说,涉及一种用于异丙醇室温快速检测的高灵敏纳米硅基气体传感元件及其制备方法,该传感器元件可有效工作于室温环境下,对超稀薄痕量有机异丙醇气体具有高灵敏的快速响应,最低室温异丙醇探测浓度低于5ppm。异丙醇作为有机原料和溶剂在工业领域有着广泛用途。作为化工原...
  • 一种抗湿度干扰功能化硅纳米线气敏传感器及其制备方法与流程
    本发明属于低功耗高性能室温纳米气体传感器领域,涉及一种具有强抗环境湿度干扰的室温纳米硅基气体传感器及其制备方法,基于该发明公开的方法制作的硅纳米线基气体传感器元件可有效工作于高湿度环境(>75%相对湿度),在室温下高灵敏探测低浓度(ppb级别)氮氧化物气体。当前,气体传感器在环境安全...
  • 制备金属氧化物微纳米阵列的设备的制作方法
    本实用新型涉及材料,涉及一种制备金属氧化物微纳米阵列的设备。金属氧化物由于其极好的氧化还原性,在环境保护和能源再生存储等相关领域具有广泛的应用,而将金属氧化物制作成微观上有序的微纳米阵列,可有效增强其氧化还原性能。金属氧化物微纳米阵列可通过低温水热反应生长于各种二维基底上,例如炭泡...
  • MEMS器件的制作方法
    本公开涉及半导体,更具体地,涉及一种mems器件。微机械系统(micro-electro-mechanicalsystem,mems)与集成电路(integratedcircuit,ic)目前是半导体产业最重要的两个发展领域。在全球科技迅速发展的推动下,mems与ic的集成成为一种...
  • MEMS器件的制作方法
    本公开涉及半导体,更具体地,涉及一种mems器件。微机械系统(micro-electro-mechanicalsystem,mems)与集成电路(integratedcircuit,ic)目前是半导体产业最重要的两个发展领域。在全球科技迅速发展的推动下,mems与ic的集成成为一种...
  • MEMS器件的制作方法
    本实用新型涉及半导体器件领域,更具体地,涉及一种mems器件。在微机电系统(mems,micro-electro-mechanicalsystem)材料表面制备出单或者多分子层的超薄膜可以在不降低其承载能力的情况下,显著降低mems材料表面的摩擦系数,甚至出现超滑状态,是解决mems系统润...
  • 以结构DNA为模板制作的纳米电子元器件及其方法与流程
    本发明涉及纳米科学领域,尤其是涉及一种以结构dna为模板制作的纳米电子元器件及其方法。纳米(nm)尺度是连接微观世界和宏观世界的桥梁,原子和分子的集合体一般都处于纳米尺度,表现出特殊乃至于宏观物体截然不同的性质。因此结构尺寸在1~100nm之间的物质的性质就引起了科学家们的广泛关注。纳米科...
  • 一种低磨损的自感知复合微结构制备方法与流程
    本发明涉及精密加工技术和薄膜传感器领域,具体涉及一种低磨损的自感知复合微结构制备方法。武器装备的轻量化、小型化、智能化和集成化是航天、航空等军事工业和国防领域的一项重要任务。武器装备自身工作状态的检测是通过相应的传感器来实现的,但这些传感器的使用会增大武器装备整体的重量和体积,此外,对于一...
  • 温度传感器制备方法及温度传感器与流程
    本发明涉及温度传感器领域,特别是涉及一种温度传感器制备方法及温度传感器。温度传感器包括测温单元和承载该测温单元的基底。温度传感器通常以导热率低的材料做基底,如在二氧化硅上淀积测温材料形成温度传感器。在工艺制程中,通过氧化硅片以在硅片表面生产一层二氧化硅,其中,二氧化硅的导热率较低,但是硅的...
  • 纳米粒子聚集体的制作方法
    本公开整体涉及纳米粒子聚集体以及以受控方式制备纳米粒子聚集体的方法。所述纳米粒子聚集体可用于包括检测和定量测定在内的多种应用中。在一个示例中,纳米粒子聚集体在医学诊断应用中特别有用。纳米粒子已变得越来越普遍地用于诊断、预后和治疗应用范围中。在此类应用中使用纳米粒子的许多优点来自于粒子的小尺...
  • 具有疏水性表面的流体输送设备的制作方法
    本发明总体上涉及小型化的输送设备和相关方法,并且更具体地涉及具有疏水性表面的液体输送设备和相关方法。微型输送设备可以在多种应用中有用。这样的输送设备可以包括微型储器的阵列,该微型储器填充有少量材料,例如液体或粉末。储器用材料密封并且可以例如通过金属膜的破裂或熔化来提供材料的受控输送。这样的...
  • 一种非晶纳米线与多孔薄膜的原位可操控键合方法与流程
    本发明属于微纳材料加工领域,具体涉及一种非晶纳米线与多孔薄膜的原位可操控键合方法。广义上讲,键合技术是通过在两材料界面间发生化学反应而键合在一起的技术。键合技术广泛应用于mems器件、集成电路ic领域,是一项充满活力的高新技术,对我国新技术的发展有十分重要的意义。在mems和微电子制造中,...
  • 一种工件表面微结构的电辅助快速压印成形装置的制作方法
    本发明涉及表面微结构成形领域,具体涉及一种工件表面微结构的电辅助快速压印成形装置。高频微压印技术是一种典型的模压成形技术,其基本过程是,激振器的振动经过变幅杆放大后传递给下端的微成形模具,并在工件表面通过高频的往复运动完成结构加工,是一种高效的表面微细结构加工工艺。但在现有的高频压印技术中...
  • 用于制造MEMS传感器的方法与流程
    本发明涉及一种用于制造mems传感器的方法。本发明还涉及一种mems传感器。虽然本发明通常可应用于任意的mems传感器,但本发明基于具有膜片的mems传感器进行描述。已知的是,具有膜片的传感器以下列方式制造:首先将由小的进入孔组成的格栅通过各向异性蚀刻、即所谓的“挖沟(trenchen)”...
  • 一种石墨烯辅助制备大面积金属纳米颗粒阵列的工艺方法与流程
    本发明涉及一种金属纳米颗粒阵列制备工艺,属于微纳加工领域。金属纳米结构具有表面等离子体效应,其主要原因是金属内部与表面存在大量自由电子,形成自由电子气团,即等离子体(plasmon)。金属纳米结构的表面等离子体光学在光催化、光学传感、生物标记、医学成像、太阳能电池,以及表面增强拉曼光谱等领...
技术分类
重庆快乐十分